WEKO3
アイテム
RFスパッタリング法によるBi-Sb薄膜熱電素子の作製条件とその熱電特性
https://doi.org/10.57375/00000861
https://doi.org/10.57375/000008613a84112e-4d97-471c-8b54-4629c85df59c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00000201793.pdf (453.7 kB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-04-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | RFスパッタリング法によるBi-Sb薄膜熱電素子の作製条件とその熱電特性 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Production Conditions of Bi-Sb Film Thermoelement Using RF Sputtering Method and Thermoelectric Properties | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00000861 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
村瀬, 正義
× 村瀬, 正義× 内山, 直幸× MURASE, Masayoshi× UCHIYAMA, Naoyuki |
|||||
| 書誌情報 |
福井工業大学研究紀要. 第一部 号 27, p. 1-6, 発行日 1997-03-20 |
|||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2868571 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00009320 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
