WEKO3
アイテム
プラズマ放射光の照度計による容量結合型高周波放電の電解方向の同定
https://doi.org/10.57375/00000477
https://doi.org/10.57375/00000477e1534a39-9e30-4ebf-8c60-b289fc20afed
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00000202043.pdf (516.6 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-04-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | プラズマ放射光の照度計による容量結合型高周波放電の電解方向の同定 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Identification of Direction of R.F.Field of Capacitively Coupled R.F.Discharge by the Illuminance Meter of Plasma Radiation Light | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00000477 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
長濱, 治男
× 長濱, 治男× Nagahama, Haruo |
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| 書誌情報 |
福井工業大学研究紀要. 第二部 号 32, p. 15-21, 発行日 2002-03-20 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2868571 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00008936 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
