WEKO3
アイテム
誘導結合型高周波放電の電界分布に関する理論的研究
https://doi.org/10.57375/00000170
https://doi.org/10.57375/000001703ced6aa7-1451-4c31-9e20-7b55ef6cb5a1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00004766937.pdf (316.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-04-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 誘導結合型高周波放電の電界分布に関する理論的研究 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Theoretical Studies on the R.F.Field Distribution of the Inductively Coupled Radio Frequency Discharge | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00000170 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
長濱, 治男
× 長濱, 治男× Nagahama, Haruo |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | A inductively or capacitively coupled radio frequency discharge is being applied to the plasma CVD etc. After that, radio frequency discharge is called r.f. discharge. This r.f. discharge discharges using the r.f. electric field. In a inductively coupled r.f. discharge, a high-frequency work coil of several turns is wound around cylindrical discharge tube. In this paper, the distribution of the r.f. electric field to the discharge tube direction of the radius is being reported to have been theoretically sought using Maxwell's electromagnetic equation. | |||||
| 書誌情報 |
福井工業大学研究紀要. 第一部 号 37, p. 1-8, 発行日 2007-05-31 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2868571 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00008629 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
