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  1. 福井工業大学研究紀要

誘導結合型高周波放電におけるワークコイルからの放射電力に関する理論的研究

https://doi.org/10.57375/00000140
https://doi.org/10.57375/00000140
9878cf86-1157-457b-85fd-afe41d7a70a8
名前 / ファイル ライセンス アクション
KJ00005074505.pdf KJ00005074505.pdf (424.2 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2009-03-23
タイトル
タイトル 誘導結合型高周波放電におけるワークコイルからの放射電力に関する理論的研究
タイトル
タイトル Theoretical Studies on the Radiation Power from the Work Coil of the Inductively Coupled Radio Frequency Discharge
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
ID登録
ID登録 10.57375/00000140
ID登録タイプ JaLC
著者 長濱, 治男

× 長濱, 治男

WEKO 8960

長濱, 治男

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Nagahama, Haruo

× Nagahama, Haruo

WEKO 8961

en Nagahama, Haruo

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 A inductively or capacitively coupled radio frequency discharge is being applied to the plasma CVD etc. In the inductively coupled r.f. discharge, a high-frequency work coil of several turns is wound around cylindrical discharge tube. Experimentally, it is generating plasma using r.f. generator that the frequency is 13.5MHz. As for this frequency , the nature as the microwave is remarkable. Therefore, the work coil is thought of as being a kind of antenna. In this paper, it is reporting finding supplied electric power expression theoretically using Poynting vector from the work coil.
書誌情報 福井工業大学研究紀要. 第一部

号 38, p. 1-8, 発行日 2008-05-31
出版者
出版者 福井工業大学
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 2868571
書誌レコードID
識別子タイプ NCID
関連識別子 TF00008599
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
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Ver.1 2023-06-20 14:39:06.378273
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