WEKO3
アイテム
誘導結合型高周波放電におけるワークコイルからの放射電力に関する理論的研究
https://doi.org/10.57375/00000140
https://doi.org/10.57375/000001409878cf86-1157-457b-85fd-afe41d7a70a8
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00005074505.pdf (424.2 kB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-03-23 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 誘導結合型高周波放電におけるワークコイルからの放射電力に関する理論的研究 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Theoretical Studies on the Radiation Power from the Work Coil of the Inductively Coupled Radio Frequency Discharge | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00000140 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
長濱, 治男
× 長濱, 治男× Nagahama, Haruo |
|||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | A inductively or capacitively coupled radio frequency discharge is being applied to the plasma CVD etc. In the inductively coupled r.f. discharge, a high-frequency work coil of several turns is wound around cylindrical discharge tube. Experimentally, it is generating plasma using r.f. generator that the frequency is 13.5MHz. As for this frequency , the nature as the microwave is remarkable. Therefore, the work coil is thought of as being a kind of antenna. In this paper, it is reporting finding supplied electric power expression theoretically using Poynting vector from the work coil. | |||||
| 書誌情報 |
福井工業大学研究紀要. 第一部 号 38, p. 1-8, 発行日 2008-05-31 |
|||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2868571 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00008599 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
