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アイテム
リング電極方式容量結合型高周波放電の基礎研究(その1)
https://doi.org/10.57375/00000640
https://doi.org/10.57375/0000064000fc1aa0-1e2d-4770-9082-94140743b106
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00000201847.pdf (775.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-04-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | リング電極方式容量結合型高周波放電の基礎研究(その1) | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Fundamental Studies of Capacitively Coupled R.F. Discharge with Ring-like Electrodes (Part 1) | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00000640 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
長濱, 治男
× 長濱, 治男× Nagahama, Haruo |
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| 書誌情報 |
福井工業大学研究紀要. 第一部 号 28, p. 33-39, 発行日 1998-03-20 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2868571 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00009099 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
