WEKO3
アイテム
2種類の高周波電界の重畳効果に対するスペクトル分析からの一考察
https://doi.org/10.57375/00000428
https://doi.org/10.57375/00000428c5c7500a-05e2-4951-aef7-f2586ddba5d0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00004259105.pdf (640.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-04-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 2種類の高周波電界の重畳効果に対するスペクトル分析からの一考察 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Spectral Analytical Study of Superposed Effect at Two Kinds of High Frequency Electric Fields | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00000428 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
長濱, 治男
× 長濱, 治男× Nagahama, Haruo |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | In a medium vacuum capacitively coupled high frequency discharge, effects of superposing two applied fields with different frequencies, that is, 2MHz and 13.5MHz have been studied. As a result, Vc of 2MHz side has decreased by the superposed effects in the low pressure region (ω>υ), but Vc has not decreased in the high pressure region(ω<υ). Variations of Pc by the superposed effects in the discharge space of 13.5MHz side have not been able to observe in all pressure region. Here, Vc or Pc is transition voltage or power from glow to arc discharge. In this report it analyzes a frequency in above mentioned superposed effects, using Spectrum Analyzer and a considering of the result is reported. | |||||
| 書誌情報 |
福井工業大学研究紀要. 第一部 号 34, p. 17-24, 発行日 2004-03-20 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2868571 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00008887 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
