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アイテム
低気圧誘導結合型高周波放電プラズマのプラズマ制御パラメーターとプラズマパラメーターに関する研究(その2)
https://doi.org/10.57375/00000236
https://doi.org/10.57375/00000236ca15e209-62cf-4560-9d3a-241fa521bbd8
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kiyou4101.pdf (5.5 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-09-20 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 低気圧誘導結合型高周波放電プラズマのプラズマ制御パラメーターとプラズマパラメーターに関する研究(その2) | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Experimental Studies on the Relation between the Plasma Control Parameter and Plasma Parameter of Inductively Coupled R.F. Discharge in the Low Pressure (Part 2) | |||||
| 言語 | en | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | High frequency discharge | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | plasma, sample gas pressure | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ionization electric power | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | electron density | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | electron temperature | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00000236 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
長濱, 治男
× 長濱, 治男× Nagahama, Haruo |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | When applying plasma, many different plasma conditions such as the case where a low electron temperature is required, the case which is uniform in the wide area of the plasma electron density are required. To create plasma, the plasma control parameter of sample gas pressure p, ionization voltage Vs and the ionization electric power Pa is important. Also, to investigate basic plasma parameter of the electron temperature Te of the created plasma and electron densities Ne is required. In this paper, changing sample gas into Ne gas from He gas and examining relation between the plasma control parameter and plasma parameter experimentally are reported. | |||||
| 書誌情報 | 号 41, p. 1-10, 発行日 2011-09-20 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00008695 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
