WEKO3
アイテム
干渉縞走査型焦点誤差検出法
https://doi.org/10.57375/00001017
https://doi.org/10.57375/0000101787ac85b0-7c87-43d1-8b7f-ec9868b490b8
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kiyou4004.pdf (7.0 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2010-07-24 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 干渉縞走査型焦点誤差検出法 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Fringe Scanning Type Focus Sensing Method | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Focus sensor | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Fringe scanning | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Far-field | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Diffraction | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Holographic data disc | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Collinear hologram | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.57375/00001017 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
藤田, 輝雄
× 藤田, 輝雄× Fujita, Teruo |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | A focus sensing method using far-field diffraction was studied by simulation and experiment. Simulation results gave well-shaped focus error signals as well as independent ones of the photo-detector position as long as the photo-detector is located within the interference area of 0th and ±1st orders. Also the capture range and the influence of the incident-beam aberration were investigated. Following experiments presented well-shaped bipolar signals around the focus from the two-element photo-detector without micro adjustment. | |||||
| 書誌情報 |
福井工業大学研究紀要 号 40, p. 23-31, 発行日 2010-06-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 福井工業大学 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||
| 関連識別子 | TF00009476 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
